潔凈室各分部工程的外觀檢查應符合下列要求:

一、凈化空調(diào)器凈壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。

二、潔凈室的內(nèi)墻面、 吊頂表面和地面，應光滑、平整，色澤均勻,不起灰塵,地板無靜電現(xiàn)象。

三、送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明及動力線配管、以及設備等，穿越潔凈室時，穿越的密封處理應可靠嚴密。

四、潔凈室內(nèi)各類配電盤、 柜和進入潔凈室的電氣管線管口應可靠密封。

五、各種刷涂保溫 工程應符合有關(guān)規(guī)定。

電子潔凈室污染因素：

一、電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲，影響電子束掃描設備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、振動

設備內(nèi)的真空泵電機工作時會把振動經(jīng)地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上，影響它們的工作精度。

應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣的彈簧減震器，以達到衰減振動的目的。

三、生銹

酸用通風罩局部排風量不足時，酸霧氣擴散于室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設備的金屬部分，就是不銹鋼露在含CI氣的空氣中，也會受腐蝕生銹。

處理酸的有效的方法是采用密閉通風罩，保證足夠的局部排風量。

因為將設立相近的工程項目生產(chǎn)車間，清理潔凈車間供電和排水管道的方式，立即危害潔凈車間的氣體清理，因而在標準中管路務必先放到凈化車間，現(xiàn)階段凈化車間管路的合理布局是在技術(shù)性中，間層和技術(shù)性上設定好多個干管，針對左右內(nèi)層凈化車間，關(guān)鍵的給污水管道關(guān)鍵坐落于中低層，凈化車間，是一個恒溫恒濕設備的生產(chǎn)車間，必須各種各樣管路。