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發(fā)布時(shí)間:2021-10-06 21:08  
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電弧或弧光放電的基本概念:電弧或弧光放電是氣體放電的一種方法。氣體放電在性質(zhì)上和外觀上是各式各樣的。在正常狀況下,氣體有杰出的電氣絕緣功用。但當(dāng)在氣體空位的兩頭加上足夠大的電場(chǎng)時(shí),就可以致使電流通過氣體。這種現(xiàn)象稱為放電。放電現(xiàn)象與氣體的種類和壓力、電極的資料和幾何形狀、南北極間的間隔以及加在空位兩頭的電壓等要素有關(guān)。例如在正常狀況下,給氣體空位兩頭的電極加壓到必定程度時(shí),一般空氣中電子在電場(chǎng)效果下高速運(yùn)動(dòng),與氣體分子磕碰后產(chǎn)生較多的電子和離子,真空電鍍?cè)O(shè)備重生的電子和離子又同中性原子磕碰,產(chǎn)生更多的電子和離子,這時(shí),氣體開始發(fā)光,兩電極變?yōu)榛馃?,電流增大。這種性質(zhì)上的改動(dòng)稱為氣體空位的擊穿,其所需的電壓稱為擊穿電壓。 這時(shí),因?yàn)殡妶?chǎng)的支撐,放電并不中止,故稱為自我按捺放電。電弧則是氣體自我按捺放電的一種方法。電弧具有電流密度大和陰極電位下降的特征。
真空電鍍生產(chǎn)廠家在真空中制備膜層,包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。雖然化學(xué)汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。蒸發(fā)鍍膜通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。這種方法早由M.法拉第于1857年提出,現(xiàn)代已成為常用鍍膜技術(shù)之一蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動(dòng)能約為0.1~0.2電子伏。