高純氣體的特點(diǎn)

高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；因今年1月末的春節(jié)比大多往年早，全國各地不少工廠企業(yè)從1月中旬起開始停產(chǎn)，造成了氣體產(chǎn)品消耗應(yīng)用的萎縮，將需求也壓到了季節(jié)性的谷底。而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為既達(dá)到工作要求，又能延長儀器壽命，所用氣體的純度要達(dá)到或略高于儀器自身對氣體純度的要求;否則，若使用不符合要求的低純度氣體，會造成一系列不良影響。

半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒；（3）檢驗(yàn)：點(diǎn)燃CH4，在火焰上方罩一個冷而干燥的的燒杯(現(xiàn)象：燒杯內(nèi)壁有水珠生成)。還有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求就特別高。氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應(yīng)的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運(yùn)作的安全。

甲烷的特點(diǎn)

甲烷，1、物理性質(zhì)：無色無味氣體，沸點(diǎn)-161.4℃，比空氣輕，它是極難溶于水的可燃性氣體。2、化學(xué)性質(zhì)：可燃性、取代反應(yīng)、氧化反應(yīng)。3、應(yīng)用：作為燃料及制造氫氣、炭黑、一氧化碳及甲醛等物質(zhì)的原料。（2）原理：CH3COONa NaOH===Na2CO3 CH4↑。（3）檢驗(yàn)：點(diǎn)燃CH4，在火焰上方罩一個冷而干燥的的燒杯(現(xiàn)象：燒杯內(nèi)壁有水珠生成)。迅速把燒杯倒轉(zhuǎn)過來，向燒杯中注入少量澄清的石灰水，振蕩(現(xiàn)象：澄清石灰水變渾濁)。則證明該氣體為CH4。標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測,有毒的有機(jī)物測量,汽車排放氣測試,超臨界流體工藝等。