其基本原理是運(yùn)用化學(xué)感光資料的光敏特性, 在基體金屬基片雙面均勻涂敷感光資料選用光刻辦法, 將膠膜板上柵網(wǎng)產(chǎn)顯形狀精準(zhǔn)地放到到金屬基片雙面的感光層掩膜上通過(guò)顯影去掉未感光有些的掩膜, 精密五金蝕刻技能是運(yùn)用特定的溶液與薄膜間所進(jìn)行的化學(xué)反響來(lái)去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些，而抵達(dá)精密五金蝕刻的目的，這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。


精密五金蝕刻技能是運(yùn)用特定的溶液與薄膜間所進(jìn)行的化學(xué)反響來(lái)去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些，而抵達(dá)精密五金蝕刻的目的，這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。將暴露的金屬有些在后續(xù)的加工中與腐蝕液直接噴壓觸摸而被蝕除, 獲取所需的幾何形狀及高精度尺度的商品技能精密五金蝕刻技能。低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對(duì)于干式精密五金蝕刻，除了無(wú)法界說(shuō)較細(xì)的線(xiàn)寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點(diǎn)： 需花費(fèi)較高成本的反響溶液及去離子水;

蝕刻曝光就是通過(guò)曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關(guān)鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學(xué)顯影劑溶解，將可見(jiàn)的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見(jiàn)的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧、浸潤(rùn)，然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。