氦質(zhì)譜檢漏儀

氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機(jī)械泵和兩個閥門，復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。相對分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

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氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備是產(chǎn)生、改善并維持真空的裝置，包括真空應(yīng)用設(shè)備及真空獲得設(shè)備。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。適用于低壓和高壓檢測，可在真空中進(jìn)行低壓檢測，也可利用吸槍線進(jìn)行本地高壓檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)