當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態(tài)污染物的目的。

低溫等離子體去除污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物 熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物 熱

廢氣處理設備工作原理：車間廢氣調溫調濕后經(jīng)過濾器過濾，送到轉輪進行濃縮過濾排放，用高溫空氣對吸附著在轉輪上VOC進行高溫脫附，脫附后高濃度氣體在高溫環(huán)境下進行高溫焚燒處理。汽車涂裝車間作為廢氣產生主要來源，目前涂裝車間普遍采取的廢氣處理方式是沸石轉輪濃縮和高濃度VOCs焚燒處理方式?，F(xiàn)場一般采用“沸石濃縮轉輪＋TAR”和“沸石濃縮轉輪＋RTO”的設備形式。根據(jù)車間廢氣量、廢氣濃度及現(xiàn)場場地約束，現(xiàn)場布局形式各不相同嗎。

設計時應考慮高溫閥門的密封性、混風罐的混風均勻性以及混風罐與脫附區(qū)的位置距離，要盡量減少高低溫風混風方式獲取脫附風，一旦其控制不好容易產生轉輪著火風險。廢氣處理系統(tǒng)在設計時要充分考慮到管路中閥門選型，與廢氣高濃度廢氣接觸的管路要采用防爆風閥和氣動風閥。部分位置要使用自回位的閥門，系統(tǒng)中設施儲氣罐，系統(tǒng)在系統(tǒng)斷電后減少熱氣向部位流動，消除著火隱患。

RTO系統(tǒng)設備中要考慮到焚燒室點火前預吹掃及設備整體的防爆，系統(tǒng)需設置防爆口。系統(tǒng)需設置高溫緊急排放口，在廢氣濃度過高時要考慮將部分高溫煙氣進行煙囪排放。

廢氣處理設備的性能保障：

1.活性炭吸附材料選用國內品牌，保障吸附效率。?

2.吸附閥門采用漏氣率為?5‰。?

3.在燃燒爐膛內設置了泄壓口，當設備內部的壓力?30K-80pa?時，自動泄壓，使設備始終在安全狀態(tài)下運行。?

4.設備外表面用絕緣保溫材料進行保溫，使表面的溫度不超過室溫?25℃以上，整個設備的絕緣電阻小于?2MΩ。?

5.碳床采用24小時不間斷測溫方式，任意時刻碳床溫度超過設備的設定溫度時，處理設備整機停機、報警并將氮氣注入活性炭吸附床內，保障活性炭安全。