檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。

真空檢漏的具體方法 為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。 (1)極限壓力合格,升壓率不合格 極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。

航天技術的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設計制造中必須考慮的關鍵因素，越來越多的收到各方關注，相關電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應用檢漏技術的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。

本次試驗被檢測部位共40余處，并對汽輪機及小汽輪機軸封部位進行了變工祝復測。終結果發(fā)現(xiàn)特大漏點1處，大泄漏點1處，中漏點1處，小泄漏點10處，其他點為微漏或不漏。測試發(fā)現(xiàn)特大漏點部位為低壓缸擴側防爆膜，大泄漏點部位為低壓缸固側防爆膜，中泄漏點部位為低壓缸擴側法蘭。 為了在不影響機組正常運行的情況下，快速有效的改善機組真空狀況，我們對主要漏點進行了涂抹密封膠臨時堵漏處理，經(jīng)過多次處理并檢測，終處理后滿足使用要求。