低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對(duì)于干式精密五金蝕刻，除了無(wú)法界說(shuō)較細(xì)的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點(diǎn)：1) 需花費(fèi)較高成本的反響溶液及去離子水;濕式精密五金蝕刻進(jìn)程可分為三個(gè)過(guò)程：1) 化學(xué)精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表;2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發(fā)作化學(xué)反響;

影響精密五金蝕刻的要素許多，下面概述幾點(diǎn)：

1)蝕刻方式：浸泡和鼓泡式蝕刻會(huì)構(gòu)成較大的精密五金蝕刻，潑濺和噴淋式蝕刻精密五金蝕刻較小，尤以噴淋蝕刻效果好。

2)蝕刻液的種類：不一樣的蝕刻液化學(xué)組分不一樣，其蝕刻速率就不一樣，蝕刻系數(shù)也不一樣。例如：酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3，堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可抵達(dá)4。近期的研討標(biāo)明，以肖酸為根底的蝕刻系統(tǒng)能夠做到幾乎沒(méi)有精密五金蝕刻，抵達(dá)蝕刻的線條側(cè)壁靠近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。

顯影：在濃度為1～1.2%碳酸鈉溶液中進(jìn)行顯影，將曝光部分 的光刻油墨感光膜去掉，將需要蝕刻的金屬部分顯露出來(lái);

烘干：將顯影后的坯料放入烘箱進(jìn)行烘烤;

蝕刻：將顯影并烘干后的坯料放入的噴淋蝕刻機(jī)中，采用噴淋 三氯化鐵蝕刻液的蝕刻方式，對(duì)坯料進(jìn)行局部快速蝕刻，蝕刻溫度 25～40℃，時(shí)間為4～10min，三氯化鐵蝕刻液組成為：水1000g，無(wú) 水三氯化鐵300～340g，磷酸80～100g，溶解后濃度為40～42波美度;