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發(fā)布時(shí)間:2020-12-08 06:23  
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在基片上形成薄膜有多種方法。制造薄膜網(wǎng)路常用物理汽相淀積(PVD)法,有時(shí)還用陽(yáng)極氧化或電鍍法。在物理汽相淀積法中,最常用的是蒸發(fā)工藝和濺射工藝。這兩種工藝都是在真空室中進(jìn)行的,所以統(tǒng)稱為真空成膜法。用這兩種方法,可以制造無源網(wǎng)路中的無源元件、互連線、絕緣膜和保護(hù)膜。陽(yáng)極氧化法可以形成介質(zhì)膜,并能調(diào)整電阻膜的阻值。在制造分布參數(shù)微波混合集成電路時(shí),用電鍍法增加薄膜微帶線的厚度,以減少功耗。
薄膜材料 在薄膜電路中主要有四種薄膜:導(dǎo)電、電阻、介質(zhì)和絕緣薄膜。導(dǎo)電薄膜用作互連線、焊接區(qū)和電容器極板。電阻薄膜形成各種微型電阻。介質(zhì)薄膜是各種微型電容器的介質(zhì)層。絕緣薄膜用作交叉導(dǎo)體的絕緣和薄膜電路的保護(hù)層。各種薄膜的作用不同,所以對(duì)它們的要求和使用的材料也不相同。
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對(duì)導(dǎo)電薄膜的要求除了經(jīng)濟(jì)性能外,主要是導(dǎo)電率大,附著牢靠,可焊性好和穩(wěn)定性高。因尚無一種材料能完全滿足這些要求,所以必須采用多層結(jié)構(gòu)。常用的是二至四層結(jié)構(gòu),如鉻-金(Cr-Au)、鎳鉻-金(Ni Cr-Au)、鈦-鉑-金(Ti-Pt-Au)、鈦-鈀-金(Ti-Pd-Au)、鈦-銅-金(Ti-Cu-Au)、鉻-銅-鉻-金(Cr-Cu-Cr-Au)等。



桿大頭則與曲軸相連,將活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為曲軸的圓周運(yùn)動(dòng)。起動(dòng)機(jī)(starter)又叫馬達(dá),它由直流電動(dòng)機(jī)產(chǎn)生動(dòng)力,經(jīng)起動(dòng)齒輪傳遞動(dòng)力給飛輪齒環(huán),帶動(dòng)飛輪、曲軸轉(zhuǎn)動(dòng)而起動(dòng)發(fā)動(dòng)機(jī)。
眾所周知,發(fā)動(dòng)機(jī)的啟動(dòng)需要外力的支持,汽車起動(dòng)機(jī)就是在扮演著這個(gè)角色。大體上說,起動(dòng)機(jī)用三個(gè)部件來實(shí)現(xiàn)整個(gè)起動(dòng)過程。直流電動(dòng)機(jī)引入來自蓄電池的電流并且使起動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)齒輪產(chǎn)生機(jī)械運(yùn)動(dòng);傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)齒輪嚙合入飛輪齒圈,同時(shí)能夠在發(fā)動(dòng)機(jī)起動(dòng)后自動(dòng)脫開;起動(dòng)機(jī)電路的通斷則由一個(gè)電磁開關(guān)來控制。其中,電動(dòng)機(jī)是起動(dòng)機(jī)內(nèi)部的主要部件。

