真空鍍膜設(shè)備需要的環(huán)境要求

真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求，一般包括真空設(shè)備對所處實(shí)驗(yàn)室（或車間）的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求，和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個方面。

這兩個方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周，油封式機(jī)械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體，當(dāng)大量抽除可凝性氣體時，對泵油的污染會更加嚴(yán)重，結(jié)果使泵的極限真空下降，破壞了泵的抽氣性能。

工業(yè)環(huán)境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區(qū)分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合，而顆粒是指能夠一個一個計(jì)數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態(tài)存在于氣體中的物質(zhì)體系。物質(zhì)無論是固體還是液體，凡是呈顆粒狀態(tài)均可統(tǒng)稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標(biāo)準(zhǔn)，從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的工業(yè)部門，也適合于真空對潔凈環(huán)境的要求。

維修真空鍍膜機(jī)一定要按照步驟操作

日常生活中，我們使用真空鍍膜設(shè)備都會維護(hù)，但是很多人維護(hù)的方法都很不對，也不按照步驟來拆卸和安裝真空鍍膜機(jī)，今天我們就來介紹下真空鍍膜機(jī)的維護(hù)步驟吧：

首先我們要保證鍍膜機(jī)與地面充分接觸，擴(kuò)散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴(kuò)散泵和增壓泵停止工作，維持泵半小時后才能關(guān)，1小時后斷水，但泵內(nèi)未冷卻至80℃以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。

擴(kuò)散泵和增壓泵各留有備用水出口，若鍍膜機(jī)故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴(kuò)散泵和增壓泵，鍍膜工作前必須接通全部設(shè)備冷卻進(jìn)水，以防止電極和基體材料燒毀。擴(kuò)散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化，定期檢查和調(diào)整水流繼電器，檢查斷水報警是否正常，保證設(shè)備冷卻水供水暢通，在拆裝鍍膜機(jī)各機(jī)件時，應(yīng)注意保護(hù)各密封工作面不受機(jī)械劃傷或損傷，以保證鍍膜設(shè)備密封性能可靠。

設(shè)備各傳動轉(zhuǎn)軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內(nèi)間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴(kuò)散泵油。使用一段時間即會損耗，必須以相同的真空油脂和擴(kuò)散泵油充入，決不能用其他油品代替。

真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來的影響

為盡量減小真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空之前，參照有限元計(jì)算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償量，以使其在真空狀態(tài)下達(dá)到平衡。

為了驗(yàn)證有限元計(jì)算的結(jié)果，對真空室的形變和補(bǔ)償進(jìn)行了測試。首先，將四只千分表定位在工作臺安裝基點(diǎn)的真空壁外側(cè)，當(dāng)真空室由大氣抽到真空時，記錄各千分表的變化量，經(jīng)處理后為用激光自準(zhǔn)直儀調(diào)整設(shè)備形變補(bǔ)償。

由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整設(shè)備形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場，記錄兩維角度偏差。

按有限元計(jì)算的真空狀態(tài)下的補(bǔ)償量再次調(diào)整，顯然，此時的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場，記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

工作臺運(yùn)動副的潤滑及對真空環(huán)境的影響工作臺的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運(yùn)動，除用滾動代替滑動來降低摩擦系數(shù)外，在導(dǎo)軌、絲桿等運(yùn)動副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長時間正常運(yùn)行的必要條件。

真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導(dǎo)軌的運(yùn)動精度，且工藝復(fù)雜。

為此，我們測試了一種市場商品――二硫化鉬潤滑劑的潤滑效果，將該潤滑劑直接噴涂在運(yùn)動副表面，并用四極質(zhì)譜儀分析了該潤滑劑在真空中揮發(fā)出的氣體的主要成分。