在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油節(jié)能真空泵

該泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應(yīng)的，低壓無油節(jié)能真空泵公司，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，低壓無油節(jié)能真空泵哪家好，有性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵（即從一個容器抽送到另一個容器）使用。

極限真空高（4.5—15mmHg）。

無油潤滑，可獲得清潔真空，有利于尾氣的潔凈回收。

節(jié)能（33%），節(jié)水（50%），節(jié)省占地面積（66%）。

氣閥使用壽命長（4-10倍）。

振動小，噪音低。

外形簡潔美觀，易于操作、裝拆方便。

采用全無油結(jié)構(gòu)及四氟類密封材料、能耐各種。

真空泵改造

許多化肥企業(yè)淘汰了振動噪聲大而真空度較高的往復真空泵，低壓真空泵節(jié)能改造多少錢，用兩級水環(huán)式真空泵替代，并收到了較好的效果，可以說兩級水環(huán)式真空泵在該行業(yè)應(yīng)用將會越來越廣泛。正確地組合真空泵。因為各種真空泵的性能不同，低壓真空泵節(jié)能改造報價，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。