ZEISS RDS-D動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座，可選配光學(xué)與接觸式測(cè)頭系統(tǒng)。

采用側(cè)面旋轉(zhuǎn)技術(shù)的動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座于兩個(gè)方向均可實(shí)現(xiàn)±180°旋轉(zhuǎn)，步距角2.5°，

空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)20736個(gè)。采用CAA技術(shù)，極大的節(jié)約了探針校準(zhǔn)與檢測(cè)時(shí)間。

適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)。掃描測(cè)量率達(dá)150點(diǎn)/秒

使用TL3模塊時(shí)，探針長(zhǎng)度 = 30-150 mm；長(zhǎng)加長(zhǎng)桿 = 100 mm；

大探針重量 = 15 g；小探針直徑 = 0.3 mm.

1) 配置TL3模塊的驗(yàn)收測(cè)試：使用探針長(zhǎng)度50mm，探針直徑3mm。

2) 測(cè)量長(zhǎng)度L 單位為mm，測(cè)量時(shí)RDS角度位置A=0°,B=0°。

3) 使用光學(xué)測(cè)頭需接觸式測(cè)頭校準(zhǔn) (例如 ZEISS VAST XXT)。

4) 基于ZEISS ViScan x 1倍光學(xué)鏡頭。

5) 激光等級(jí)2M：未使用光學(xué)儀器（例如放大鏡、鏡頭元件、望遠(yuǎn)鏡）進(jìn)行光束聚焦，短時(shí)間（0.25秒）內(nèi)暴露于光譜范圍內(nèi)的可見(jiàn)激光光束睛無(wú)害。

6) 探測(cè)誤差測(cè)試位于測(cè)量范圍中央并基于啞光球（直徑30mm）進(jìn)行。依據(jù)ISO 10360-8 P[Form.Sph.D95%:Tr:ODS]。

7) 適用于 12/18/8, 12/18/10, 12/24/8 及 12/24/10。

8) 圓度測(cè)量中掃描速度為5mm/s，濾波為50 UPR。

ZEISS DotScan

測(cè)量范圍 1 mm 2)

配備共聚焦白光測(cè)距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA

掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

工作距離：10,5mm ,分辨率28nm

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

測(cè)量范圍 3 mm 2)

工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，

可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm