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由于氮?dú)馀c氧氣的沸點(diǎn)相差不大，液態(tài)空氣與氣態(tài)空氣需經(jīng)過(guò)反復(fù)多次的蒸發(fā)、冷凝、再蒸發(fā)過(guò)程（該過(guò)程稱為低溫精餾過(guò)程），終在精留塔頂部氣相餾分中就可以過(guò)得較高高純度的氮?dú)?，氮?dú)獾募兌热Q于精餾塔的塔板級(jí)數(shù)和精餾效率。

深冷分離法工藝已經(jīng)歷了 100 多年的發(fā)展，先后經(jīng)歷了高壓、高低壓、中壓和全低壓流程等多種不同的工藝流程。

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高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)先用高純氮置換，再用高純氦置換。

特種設(shè)備的氮?dú)獗Ｗo(hù)操作注意事項(xiàng)： 密閉操作。密閉操作，提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員須經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員穿防寒服，戴防寒手套。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。