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發(fā)布時(shí)間:2021-08-25 17:16  
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NR77-20000PNR75 1000HP光刻膠價(jià)格
6,堅(jiān)膜
堅(jiān)膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強(qiáng),康腐蝕能力提高。堅(jiān)膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min,7,顯影檢驗(yàn),光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對(duì)準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡,針KONG、小島。隨著光刻分辨力的提高,對(duì)準(zhǔn)精度要求也越來(lái)越高,例如針對(duì)45am線寬尺寸,對(duì)準(zhǔn)精度要求在5am左右。
8刻蝕
就是將涂膠前所墊基的薄膜中沒(méi)有被光刻膠覆蓋和保護(hù)的那部分進(jìn)行腐蝕掉,達(dá)到將光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到下層材料的目的。濕法刻蝕,SIO2,AL, Poly-Si 等薄膜,干法腐蝕。
NR77-20000PYNR75 1000HP光刻膠價(jià)格
光刻膠存儲(chǔ)條件及操作防護(hù)
光刻膠是一種可燃液體,儲(chǔ)存條件應(yīng)符合對(duì)應(yīng)的法規(guī),不要與強(qiáng)氧化劑混合,存放在通風(fēng)良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個(gè)人防護(hù)
眼睛:佩戴化學(xué)飛濺護(hù)目鏡。
皮膚:戴上適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護(hù)服防止皮膚暴露。
呼吸器:無(wú)論何時(shí)在工作環(huán)境下呼吸保護(hù)必須遵循中國(guó)職業(yè)安全健康管理局標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定和ANSI美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)Z88.2的相關(guān)要求,或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護(hù)EN 149的標(biāo)準(zhǔn)。
光刻膠
光增感劑
是引發(fā)助劑,能吸收光能并轉(zhuǎn)移給光引發(fā)劑,或本身不吸收光能但協(xié)同參與光化學(xué)反應(yīng),起到提高引發(fā)效率的作用。
光致產(chǎn)酸劑
吸收光能生成酸性物質(zhì)并使曝光區(qū)域發(fā)生酸解反應(yīng),用于化學(xué)增幅型光刻膠。
助劑
根據(jù)不同的用途添加的顏料、固化劑、分散劑等調(diào)節(jié)性能的添加劑。
主要技術(shù)參數(shù)
分辨率(resolution)
是指光刻膠可再現(xiàn)圖形的小尺寸。一般用關(guān)鍵尺寸來(lái)(CD,CriticalDimension)衡量分辨率。








