真空泵油的清凈性。摩擦副不可防止地要與四周介質(zhì)接觸，惹起腐蝕、銹蝕而毀壞。表現(xiàn)優(yōu)的真空泵油請(qǐng)求盡可能把摩擦面積垢清洗掃除；抗腐蝕防銹并維護(hù)摩擦外表不受油蛻變或外來腐蝕。

真空泵油的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

　　1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

真空泵油推算依據(jù)是水泵相似理論

         真空泵機(jī)組水泵功率比與流量比之間的“三次冪”關(guān)系常被誤用的主要原因是:除單臺(tái)泵系統(tǒng)以控制方式 3運(yùn)行外, 真空泵機(jī)組其他控制方式性能曲線上的工況點(diǎn)基本上不是相似工況點(diǎn),所以水泵相似律不適用。就本實(shí)例而言 , 用水泵在系統(tǒng)額定工況點(diǎn)的效率替代典型工況點(diǎn)效率, 計(jì)算水泵能耗有足夠的精度 ,但其普遍性需要通過更多的實(shí)例分析驗(yàn)證。本實(shí)例分析沒有計(jì)入變頻器損失, 原因是目前市場(chǎng)提供的用于水泵調(diào)速的品牌變頻器在額定輸出時(shí)的效率一般高于 96%, 在非“零輸出”的情況下 ,于額定輸出時(shí)的效率, 所以變頻器效率對(duì)總能耗計(jì)算的影響較小 。真空泵油常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量。

當(dāng)然，真空泵的選型是一個(gè)綜合過程，涉及到相關(guān)經(jīng)驗(yàn)等因素。要知道被抽物體是否有腐蝕(酸性還是堿性，PH值是多少?)，若含有酸堿腐蝕或有機(jī)腐蝕等因素的氣體，應(yīng)過濾或中和處理才能選旋片式真空泵。被抽物體是否對(duì)橡膠或者油品有污染?針對(duì)不同的被抽介質(zhì)要選用相應(yīng)的真空設(shè)備，如果氣體中含有大量蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝相應(yīng)的輔助設(shè)備，如冷凝器，過濾器等(具體聯(lián)系我們相應(yīng)技術(shù)工程人員)。真空泵的噪音，振動(dòng)，美觀的對(duì)工廠是否有影響。俗話說，便宜沒好貨。購(gòu)買真空泵和真空設(shè)備時(shí)，還應(yīng)優(yōu)先考慮設(shè)備的質(zhì)量、運(yùn)輸及其維修和保養(yǎng)費(fèi)用等。真空泵油失效對(duì)真空泵的影響真空泵油失效主要有兩種形式，一種是真空泵乳化另一種是真空泵油碳化。

　真空泵油是一種專門為真空設(shè)備上的真空泵而研發(fā)的潤(rùn)滑油。它分為礦物油和合成油。真空泵油適用于往復(fù)增壓泵、機(jī)械增壓泵、油封機(jī)械真空泵等。也可用于各種擴(kuò)散真空泵等。真空泵油可以快速分離油中夾帶的水分，達(dá)到所需的真空度。

真空泵油具有良好的氧化穩(wěn)定性，可在高溫條件下與空氣、樹脂、化學(xué)原料等長(zhǎng)時(shí)間直接接觸，不易變質(zhì)，減少有害漆膜和油漬的形成，并提供較長(zhǎng)的換油周期。閃點(diǎn)也是真空泵油主要的質(zhì)量指標(biāo)之一。它不僅是從的安全性能考慮的。然而，閃點(diǎn)高，輕組分的含油量通常低。真空泵油的清凈性摩擦副不可防止地要與四周介質(zhì)接觸，惹起腐蝕、銹蝕而毀壞。因此，當(dāng)油溫升高時(shí)，輕沸點(diǎn)油分子不揮發(fā)，能有效保持極限壓力。