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發(fā)布時(shí)間:2020-12-10 11:06  

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液環(huán)泵在工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生熱量,主要熱量包括:真空泵/壓縮機(jī)的無(wú)效功率;吸入氣體溫度較高帶來(lái)的熱量;吸入氣體含有可凝性氣體在壓縮過(guò)程中釋放出相變熱,換熱器的主要作用是通過(guò)冷卻水冷卻工作液,使工作液溫度保持在合理的范圍內(nèi)。

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半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。

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半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會(huì)引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。棗莊造浪真空泵公司青島造浪真空泵質(zhì)量好棗莊造浪真空泵公司有實(shí)力。

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