微納米氣泡定義

小氣泡的行為與正常氣泡不同。 普通氣泡在水中迅速上升，在表面并消失。 但是，當(dāng)氣泡的直徑小于50μm時(shí)，氣泡會(huì)緩慢上升和收縮，直到消失在水中。 在水中變小而消失的氣泡在這里稱為微納米氣泡。

微納米氣泡在水中迅速收縮的原因是由于小氣泡，氣泡內(nèi)部的氣體有效地溶解在周圍的水中。 氣泡的減少意味著“氣-液界面”的改變，這具有重要的工程意義。 即，是氣泡的內(nèi)部壓力的上升和表面電荷的集中，這是微納米氣泡對(duì)起作用的固體表面的清潔效果的體現(xiàn)。

微納米氣泡進(jìn)一步研究

在單晶片處理中，將微納米氣泡倒入轉(zhuǎn)盤的中心，但是將光致抗蝕劑從周圍環(huán)境剝離。為了進(jìn)一步研究該機(jī)理，我們使用氧氣微納米氣泡對(duì)外殼進(jìn)行了光致抗蝕劑去除測(cè)試。但是，在這種情況下，無(wú)法移除。即使使用SPM也很難處理，這似乎是很自然的結(jié)果，但是有可能發(fā)現(xiàn)一種有趣的現(xiàn)象。

它是照片如圖9所示。盡管含有氧微納米氣泡的超純水沿固定方向流動(dòng)，但是在抗蝕劑圖案中水從正面碰撞的側(cè)面的抗蝕劑中觀察到變化。由于減少氣泡的過(guò)程而變成一團(tuán)電荷的微納米氣泡可能對(duì)抗蝕劑3）產(chǎn)生一些影響。

納米氣泡制備方式一瞥

   通過(guò)水流（壓縮，膨脹，渦旋）使含電解質(zhì)離子的水中的微納米氣泡崩潰，制造了納米氣泡，并成功地使其穩(wěn)定。 氣泡直徑為100nm或更小，并且半衰期長(zhǎng)，幾個(gè)月。

納米氣泡發(fā)生器裝置中，微納米氣泡首先由氣體和液體的混合泵產(chǎn)生，微納米氣泡被內(nèi)置于裝置中的高速旋轉(zhuǎn)裝置剪切。

     納米氣泡是通過(guò)在超純水中施加超聲波而產(chǎn)生的，并且可能存在亞穩(wěn)態(tài)達(dá)數(shù)分鐘或更長(zhǎng)時(shí)間。 通過(guò)保持實(shí)驗(yàn)設(shè)備中的高壓，產(chǎn)生的納米氣泡數(shù)量增加。 在水中溶解氧濃度過(guò)飽和的區(qū)域觀察到納米氣泡，并且隨著溶解氧濃度的增加，產(chǎn)生的納米氣泡量增加。 產(chǎn)生的納米氣泡量幾乎與所施加的超聲波的頻率成比例地增加。 產(chǎn)生的氣泡尺寸分布為100至1000nm。