精密和超精密加工技術(shù)簡(jiǎn)介

就先進(jìn)制造技術(shù)的技術(shù)實(shí)質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動(dòng)化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱(chēng)為精密工程；后者包括了設(shè)計(jì)、制造和管理的自動(dòng)化，它不僅是快速響應(yīng)市場(chǎng)需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動(dòng)條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。給傳感器一個(gè)持續(xù)穩(wěn)定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測(cè)物體之間的距離成正比。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動(dòng)化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動(dòng)化則有賴(lài)于精密加工才能達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

根據(jù)加工方法的機(jī)理和特點(diǎn)，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類(lèi)。

（1）去除加工。又稱(chēng)為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法，如車(chē)削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機(jī)理、方法、強(qiáng)弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱(chēng)為流動(dòng)加工，利用力、熱、分子運(yùn)動(dòng)等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。