該裝置由汽化爐、分解爐、重合室這3個部分組成，在重合室中放置對象物品，在汽化爐中放置Parylene (粉體)。

       在裝置內進行減壓操作后，升高汽化爐的溫度（120~180℃），使Parylene升華。 通過真空泵將該氣體引導至蒸汽粘合室，通過高溫（650~700℃）分解爐后，生成熱分解單體。該單體在室溫狀態(tài)下的重合室內與對象物品相接觸，其含有的熱量被傳導后在對象物品的表面進行聚合，形成高分子量的聚對二樹脂膜。

可耐5000V且可隨厚度增加而持續(xù)提高

絕緣性能不會受環(huán)境溫度和濕度的影響；

Parylene 的介電常數(shù)和介電損耗均非常低且不受吸潮的影響；

Parylene 的高純度、表面憎水性及不存在任何痕量的離子污染又保證了極高的體積電阻率和表面電阻率；

極低的高頻損耗，特別適合超高頻器件。

用環(huán)氧樹脂材料進行電泳涂敷，但電泳涂敷時工件表面必須有一掛點，掛點的修補不僅費工費時，而且質量難以保證用。另外當繞線器件很小時，使用傳統(tǒng)膠帶做絕緣就很困難。用Parylene涂層能夠有效此問題并具有大量生產降低成本的優(yōu)勢 。

      普通真空鍍膜時，在工件表面與鍍層之間幾乎沒有連接的過渡層，好似截然分開。而離子鍍時，離子高速轟擊工件時，能夠穿透工件表面，形成一種注入基體很深的擴散層，離子鍍的界面擴散深度可達四至五微米，對離子鍍后的試件作拉伸試驗表明，一直拉到快要斷裂時，鍍層仍隨基體金屬一起塑性延伸，無起皮或剝落現(xiàn)象發(fā)生，可見附著多么牢固，膜層均勻，致密。