無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀主要用于無(wú)機(jī)元素微量分析和同位素分析等方面。分為火花源質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。質(zhì)譜分析儀是按照離子的質(zhì)荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測(cè)定分子量并進(jìn)行成分和結(jié)構(gòu)分析的一種精密、的儀器。質(zhì)譜分析是先將物質(zhì)離子化,按離子的質(zhì)荷比分離,然后測(cè)量各種離子譜峰的強(qiáng)度而實(shí)現(xiàn)分析目的一種分析方法。

質(zhì)譜儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器為核心。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀。按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測(cè)器，采集放大離子信號(hào)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜分析是先將物質(zhì)離子化,按離子的質(zhì)荷比分離,然后測(cè)量各種離子譜峰的強(qiáng)度而實(shí)現(xiàn)分析目的一種分析方法。典型的質(zhì)譜儀，一般由樣品導(dǎo)入系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器和檢測(cè)器組成，此外，還含有真空系統(tǒng)和控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等輔助設(shè)備?；鸹ㄔ促|(zhì)譜儀不僅可以進(jìn)行固體樣品的整體分析，而且可以進(jìn)行表面和逐層分析甚至液體分析；激光探針質(zhì)譜儀可進(jìn)行表面和縱深分析；輝光放電質(zhì)譜儀分辨率高，可進(jìn)行高靈敏度，高精度分析。

質(zhì)譜儀真空泵的保養(yǎng)方法，檢查和清潔前置真空泵入口過(guò)濾器，旋開(kāi)入口轉(zhuǎn)接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過(guò)濾器。質(zhì)譜儀具有很高的靈敏度和分辨率，在定性和定量方面有很有優(yōu)勢(shì)，所以現(xiàn)在配置質(zhì)譜儀的實(shí)驗(yàn)室越來(lái)越多。質(zhì)譜分析儀是按照離子的質(zhì)荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測(cè)定分子量并進(jìn)行成分和結(jié)構(gòu)分析的一種精密、的儀器。