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發(fā)布時間:2021-08-17 08:20  

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視頻作者:無錫拓龍科技發(fā)展有限公司






平面拋光機行業(yè)此刻正遭遇新一輪的洗牌,傳統(tǒng)的平面拋光機隨著廠家越來越多,技術(shù)越來越透明,所能帶來的利潤也逐漸微薄。至今,拋光技術(shù)在我國已經(jīng)達(dá)到了頂峰,各種拋光設(shè)備在中國都有生產(chǎn),比如:超聲波拋光機,滾筒式拋光機,雙面拋光機,平面拋光機,離心式拋光機,振動拋光機。如何能突破瓶頸發(fā)展新的商機已是迫在眉睫。而國家扶持半導(dǎo)體的相關(guān)政策出來后,隨著硅片生產(chǎn)廠商的積極響應(yīng),也給平面拋光機生產(chǎn)廠家?guī)砹诵碌钠鯔C。

目前以平面拋光機廠家已經(jīng)開始研發(fā)硅片磨拋技術(shù),主要針對大尺寸硅片的研磨和拋光。形狀簡單的零件可以用硬拋光輪或拋光帶,形狀復(fù)雜的零件用軟拋光輪拋光。但是在機會之余,我們也面臨一些問題和挑戰(zhàn),相對國外而言,我們的技術(shù)是比較落后的,要想盡快有所成就還需要先向日本,德國等地學(xué)習(xí),然后在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改良和完善,以適用我們國內(nèi)的生產(chǎn)環(huán)境。



在模具拋光中,工藝相對復(fù)雜,流程可以分為粗拋、半精拋、精拋幾步。模具拋光主要用機械拋光來進(jìn)行是為了得到更好的產(chǎn)品質(zhì)量與加工精度,而且相對于其它工藝,在成本上也相對廉宜。

在拋光的過程中,應(yīng)該分開在兩個工作地點來完成粗拋加工和精拋加工,而且要注意清洗干凈上一道工序殘留在工件表面的砂粒。圓管綜合力學(xué)性能好,焊接性,冷,熱加工性能和耐腐蝕性能均好,具有良好的低溫韌性。一般從油石到1200#砂紙完成粗拋光后,工件需轉(zhuǎn)移到無塵間進(jìn)行拋光,確??諝庵袩o灰塵微粒粘在模具表面。如果要進(jìn)行更為精密的高精密拋光或者超精密拋光,則必須在潔凈的空間內(nèi)。

在拋光工藝完成后,工件表面要做好防護(hù)工作,避免工件表面遭到損壞。當(dāng)拋光過程停止時,應(yīng)仔細(xì)去除所有研磨劑和潤滑劑,保證工件表面整潔,隨后應(yīng)在工件表面噴涂一層模具防銹層。



要在風(fēng)道出風(fēng)口外接除塵裝置過濾灰塵。風(fēng)道的另一頭一般會留個小門,以便進(jìn)出清理風(fēng)道內(nèi)沉積的灰塵(有些被抽到外面)。

拋光輪一般用多層帆布、毛氈或皮革疊制而成,兩側(cè)用金屬圓板夾緊,其輪緣涂敷由微粉磨料和油脂等均勻混合而成的拋光劑。西漢時期的青銅鏡鏡面加工技術(shù)更是負(fù)有盛名,在《淮南子》中有所描述。 拋光時,高速旋轉(zhuǎn)的拋光輪(圓周速度在20米/秒以上)壓向工件,使磨料對工件表面產(chǎn)生滾壓和微量切削,從而獲得光亮的加工表面,表面粗糙度一般可達(dá)Ra0.63~0.01微米;當(dāng)采用非油脂性的消光拋光劑時,可對光亮表面消光以改善外觀。



敏化現(xiàn)象。對于拋光來說,主要是在維持研磨所取得良好的平面度前提下,去除工件表面微小的凸起和表面損傷層,以獲得鏡面光度。不銹鋼因含有Cr在表面形成氧化鉻薄膜,失去化學(xué)活性,稱為鈍化狀態(tài),但奧氏體系若經(jīng)過475~850℃溫度范圍時,C會與Cr結(jié)合生成碳化鉻(Cr23C6)析出在晶體邊界,因此晶界附近的Cr含量大減,成為貧Cr區(qū)。此時,其耐腐蝕性會降低,對腐蝕環(huán)境特別敏感,故稱為敏化現(xiàn)象。敏化現(xiàn)象在氧化酸的使用環(huán)境容易腐蝕,此外還有焊接熱影響區(qū)和熱間彎曲加工區(qū)。其防治方法有:

a) 在475~850℃溫度范圍升降時,迅速通過,讓Cr沒有足夠的時間和C結(jié)合,無法析出碳化鉻。

b) 對已經(jīng)發(fā)生敏化現(xiàn)象的不銹鋼施以高溫固溶化處理,加熱至足以使碳化鉻分解的溫度(1040~1150℃),然后急速冷卻,使碳化鉻來不及析出。

c) 選用低碳型不銹鋼加入304L、304LN、316L、316LN、316J1L、317L、317LN,使Cr無法與C結(jié)合。研磨加工過程就是利用游離磨粒對零件表面進(jìn)行刮削和擠壓去除材料的過程,達(dá)到提高平面度和降低表面粗糙度的目的。一般C含量在0.05%以下,焊接便不會產(chǎn)生晶界腐蝕,但須特別注意清潔,避免油污等含C物質(zhì)的污染。在含氫氧酸的混合酸中使用,C含量在0.03%以下。