無塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設備應注意的重點

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。

c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產(chǎn)設備前應有過濾設備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

3.自動化與無塵化：

a.設立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。

b.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵室管理規(guī)則等。

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無塵車間的管理標準

1. 人員進入無塵車間必須按個人衛(wèi)生與工作服裝管理要求，穿戴本區(qū)域的工作服裝，按凈化工程程序進入無塵車間。潔凈區(qū)內(nèi)操作人員應控制到低限度，限制非操作人員進入。

2. 凡無塵區(qū)使用的物料、器具、工藝用水等必須按規(guī)定程序凈化。進入無菌室的物品，要在室外處理，滅菌后經(jīng)過傳遞窗或氣閘室送入無塵區(qū)內(nèi)。

3. 無塵度百級、萬級區(qū)域的空調(diào)宜連續(xù)運行。非連續(xù)運行的無塵車間，可根據(jù)工藝要求，在非制劑時間，空調(diào)系統(tǒng)作值班運行，使室內(nèi)保持正壓。

無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。其中應急型在正常情況下也可以當普通型使用，在廠房突然斷電的情況下，其可保持繼續(xù)照明，并且不需要單獨供電系統(tǒng)。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設計和高的效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。