近年，在這些規(guī)則規(guī)模中堅(jiān)持處理空氣進(jìn)程，使咱們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營本錢。可是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對(duì)濕度呢？道理很簡單，因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素，其間包含：1、細(xì)菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模；3、出現(xiàn)靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：排除/除去，在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。

潔凈手術(shù)室凈化工程產(chǎn)生污染的因素:1、生物污染,就是室內(nèi)生物污染.室內(nèi)污染表現(xiàn)在居室內(nèi)飼養(yǎng)家畜、寵物等動(dòng)物,這些動(dòng)物都會(huì)使微生物包括細(xì)菌、病毒、真菌、霉菌等許多繁殖.2、物理污染,這兒所說的物理污染物首要來源于人員在室內(nèi)活動(dòng)所構(gòu)成的污染,包括塵埃、粉塵、纖維以及礦藏燃料燃燒或吸煙發(fā)作的可吸入污染物、焦油等。