廣州潽拓——{精}，分子泵

     EDWARDS EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修

愛(ài)德華EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨(dú)特單軸再生 Holweck® 分級(jí)機(jī)構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，可以遠(yuǎn)程安裝。重量43.5KG。

潽拓——愛(ài)德華分子泵用途，分子泵

現(xiàn)貨出售愛(ài)德華 Edwards nEXT 240分子泵及提供維修保養(yǎng)服務(wù)，歡迎來(lái)電咨詢(xún)

概述——  nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對(duì)N2的抽速為240l/s。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。

愛(ài)德華Edwards復(fù)合渦輪分子泵Ext75dx24VDC，二手分子泵維修保養(yǎng)

愛(ài)德華Edwards復(fù)合渦輪分子泵Ext75dx24VDCEdwards EXT75DX渦輪分子泵

    上軸承為性磁懸浮軸承：無(wú)需清潔、振動(dòng)小、磨損低 配有手動(dòng)放氣閥（可選配電磁閥，用于全自動(dòng)放氣）Holweck拖曳分級(jí)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力差帶有吹掃口，提供制程氣體稀釋?zhuān)员Ｗo(hù)電機(jī)和下軸承