根據(jù)等離子體激元裝置反射的激光的量，就可以得到間隙的寬度和納米顆粒的運(yùn)動(dòng)。假設(shè)間隙由于納米顆粒的運(yùn)動(dòng)而改變，使得等離子體激元的固有頻率或諧振更接近于激光的頻率。在這種情況下，等離子體激元能夠從激光吸收更多的能量，并且反射較少的光。

為了在實(shí)用設(shè)備中使用這種運(yùn)動(dòng)感測(cè)技術(shù)，將黃金納米顆粒嵌入微觀尺度的機(jī)械結(jié)構(gòu)中，這是一種由氮化硅制成的類似微型跳臺(tái)的振動(dòng)懸臂梁，只有幾微米長(zhǎng)。即使它們沒(méi)有運(yùn)動(dòng)，這種裝置也不會(huì)完全靜止，而是以高頻振動(dòng)，在室溫下隨著分子的運(yùn)動(dòng)而推擠。測(cè)量技術(shù)的先進(jìn)程度將成為我國(guó)未來(lái)制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。即使振動(dòng)的振幅很微小，僅移動(dòng)了亞原子級(jí)距離，使用這種新的等離子體激元技術(shù)也很容易檢測(cè)到。同理，通常都采用較大的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行科學(xué)測(cè)量并用作實(shí)際的傳感器；，在汽車和智能手機(jī)中探測(cè)運(yùn)動(dòng)和方位。NIST科學(xué)家希望他們這種納米級(jí)測(cè)量運(yùn)動(dòng)的新方法將有助于進(jìn)一步小型化許多這樣的微機(jī)械系統(tǒng)，并提高其性能。

從20世紀(jì)50年代至70年代，柵式測(cè)量系統(tǒng)從感應(yīng)同步器發(fā)展到光柵、磁柵、容柵和球柵，這5種測(cè)量系統(tǒng)都是將一個(gè)柵距周期內(nèi)的測(cè)量和周期外的增量式測(cè)量結(jié)合起來(lái)，測(cè)量單位不是像激光一樣的光波波長(zhǎng)，而是通用的米制(或英制)標(biāo)尺。

電容式傳感器ZNX實(shí)際的基本包括了一個(gè)接收Tx與一個(gè)發(fā)射qiRx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。在接收qi與發(fā)射走線之間會(huì)形成一個(gè)電場(chǎng)。確定性側(cè)向位移（Deterministiclateraldisplacement，DLD）柱形微流控芯片是一種有效的檢測(cè)分析和分離富集微米級(jí)顆粒的技術(shù)，包括血液中的寄生chong、菌、血細(xì)胞和循環(huán)瘤細(xì)胞等。電容傳感器卻可以探測(cè)與傳感器電極特性不同的導(dǎo)體和盡緣體。當(dāng)有物體靠近時(shí)，電極的電場(chǎng)就會(huì)發(fā)生改變。從而感應(yīng)出物體的位移變化量。

位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的移動(dòng)有關(guān)的量，位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。為了實(shí)現(xiàn)光學(xué)級(jí)的確定性超精密加工，機(jī)床必須具有納米級(jí)重復(fù)定位精度的刀具運(yùn)動(dòng)控制品質(zhì)。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率高的可達(dá)到納米級(jí)）、抗干擾能力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。

納米級(jí)位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，位移傳感器超聲波式位移傳感器，k和納米位移計(jì)。

電感式位移傳感器KD5100是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，接通電源后，在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng)，當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量，使振蕩器輸出幅度線性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來(lái)完成無(wú)接觸檢測(cè)物體的目的。這些技術(shù)有望在蛋白質(zhì)折疊、RNA聚合酶合等研究領(lǐng)域提供單分子層次的信息。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。

光電式位移傳感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法進(jìn)行測(cè)量，對(duì)被測(cè)物體材質(zhì)沒(méi)有任何要求，主要影響為環(huán)境光強(qiáng)和被測(cè)面是否平整。電容式傳感器ZNX實(shí)際的基本包括了一個(gè)接收qiTx與一個(gè)發(fā)射qiRx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。他們?cè)谶@個(gè)黃金納米顆粒和一個(gè)金片之間設(shè)計(jì)了一個(gè)寬約15納米的小氣隙來(lái)進(jìn)行測(cè)量。在接收qi與發(fā)射qi走線之間會(huì)形成一個(gè)電場(chǎng)。電容傳感器卻可以探測(cè)與傳感器電極特性不同的導(dǎo)體和盡緣體。當(dāng)有物體靠近時(shí)，電極的電場(chǎng)就會(huì)發(fā)生改變。從而感應(yīng)出物體的位移變化量。

納米測(cè)量技術(shù)是利用改制的掃描隧道顯微鏡進(jìn)行微形貌測(cè)量，這個(gè)技術(shù)已成功的應(yīng)用于石墨表面和生物樣本的納米級(jí)測(cè)量。