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這種分子泵的維護(hù)可具體分為：1）牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子碰撞以獲得動(dòng)量，并被驅(qū)動(dòng)到泵出口。答：不作特殊限定，至少3個(gè)，按照法蘭大小可選3、6、12、24等變頻器電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或者錯(cuò)亂。 2）渦輪分子泵通過與高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和固定的固定葉片配合實(shí)現(xiàn)抽氣。 這樣的泵通常以分子流動(dòng)狀態(tài)運(yùn)行。 3）復(fù)合分子泵它是由兩個(gè)渦輪泵和牽引泵串聯(lián)而成的復(fù)合分子真空泵。

渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作，在分子流范圍內(nèi)，氣體分子的平均自由程長度遠(yuǎn)大于分子泵葉片之間的間距，而氣體分子的平均自由程長度會(huì)隨著容器壓力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大氣，反而無法顯示出它的優(yōu)越性。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級泵，高真空機(jī)組是由分子泵和機(jī)械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。

水泵性能的技術(shù)參數(shù)有流量、吸程、揚(yáng)程、軸功率、水功率、效率等；根據(jù)不同的工作原理可分為容積水泵、葉片泵等類型。容積泵是利用其工作室容積的變化來傳遞能量；葉片泵是利用回轉(zhuǎn)葉片與水的相互作用來傳遞能量，有離心泵、軸流泵和混流泵等類型。

油封式旋片泵（即油泵）

極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會(huì)存在一定含量的碳?xì)浠衔?，影響使用；并且油泵操作溫度較高，如果散熱效果較差，會(huì)直接影響客戶的測試結(jié)果；另外還需要定時(shí)換油，總體來說維護(hù)成本高，能耗大。在粗真空范圍的應(yīng)用中，比如抽濾、固相萃取、真空干燥、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)、真空濃縮、凝膠干燥等，Agilent TV301分子泵銷售廠家提供極耐化學(xué)腐蝕的高品質(zhì)隔膜泵，使用壽命超長。

檢查滾珠軸承，如內(nèi)外套磨損、曠動(dòng)、滾珠磨損或表面有斑點(diǎn)都要更換。尚可使用的用或煤油將軸承清洗干凈后涂黃油保存。

檢查葉輪上是否有裂痕或小孔，葉輪固定螺母是否松動(dòng)，如有損壞應(yīng)修理或更換。檢查葉輪減磨環(huán)處間隙，如超過規(guī)定值，應(yīng)修理或更換。若水泵和管道都不拆卸時(shí)，應(yīng)用蓋板將出口封好，以防雜物進(jìn)入。

磁場屏蔽出現(xiàn)的問題

　　旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：

　　①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；

　　②、轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；

　?、?、由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；

　　④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁場中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

分子泵特點(diǎn)

油潤滑分子泵：潤滑油脂量小，且在前面機(jī)械泵段，對真空設(shè)備空氣污染小。

脂潤滑分子泵：油脂量不大，前相互配合比干泵可獲得相近無油真空泵的清除機(jī)械泵。

全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起運(yùn)用，可獲得無油真空泵的清除真空泵。Agilent TV301分子泵銷售廠家

分子泵是應(yīng)用高速運(yùn)行的轉(zhuǎn)子把角動(dòng)量傳輸給氣體分子式，使之獲得定項(xiàng)速度，從而被變小、被驅(qū)向排氣口后為前邊抽走的一種真空泵。Agilent TV301分子泵銷售廠家