流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對(duì)管道內(nèi)的被測(cè)流體加熱，熱能隨流體一起流動(dòng)，通過(guò)測(cè)量因流體流動(dòng)而造成的熱量（溫度）變化來(lái)反映出流體的質(zhì)量流量。

當(dāng)流體成分確定時(shí)，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測(cè)出溫差便可求出質(zhì)量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點(diǎn)溫差不變，則通過(guò)測(cè)量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)，所以實(shí)際應(yīng)用較多。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~ 5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。這種流量計(jì)多用于較大氣體流量的測(cè)量。

為避免測(cè)溫和加熱元件因與被測(cè)流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測(cè)量方法，即將加熱器和測(cè)溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過(guò)。非接觸式測(cè)量方法，適用于小口徑管道的微小流量測(cè)量。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。當(dāng)用于大流量測(cè)量時(shí)，可采用分流的方法，即僅測(cè)量分流部分流量，再求得總流量，以擴(kuò)大量程范圍。

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質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)

質(zhì)量流量精度： ±0.002×流量±零點(diǎn)漂移

密度測(cè)量精度： ±0.003g／cm3

密度測(cè)量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測(cè)量范圍： ±1°C

傳感器相關(guān)數(shù)據(jù)：

環(huán)境溫度： －40~60°C

介質(zhì)溫度： －50~200°C

防爆類型： iBⅡBT3

關(guān)聯(lián)設(shè)備： 配套變送器

(3) 變送器相關(guān)數(shù)據(jù)：

工作溫度： 0~60°C

相對(duì)濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

流量控制器容易受這幾個(gè)方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測(cè)雖確等優(yōu)點(diǎn)。直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，不用其他設(shè)備?？梢缘臏y(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測(cè)量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。高壓改變了振動(dòng)管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動(dòng)管的振動(dòng)頻率增大，兩管的相位差減?。粴怏w流經(jīng)振動(dòng)管時(shí)，存在壓降，使得振動(dòng)管受力不對(duì)稱，這也對(duì)相位差有影響。怕粉塵,若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器,造成測(cè)量誤差,要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器。

二、溫度影響

用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會(huì)改變測(cè)量振動(dòng)管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動(dòng)管的振動(dòng)頻率減小。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。

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