管線組織凈化車間的蔭蔽組織方法

管線組織 凈化車間的管線十分復(fù)雜，所以對(duì)這些管線均選用蔭蔽組織方法。詳細(xì)蔭蔽組織方法有以下幾種。 技能夾層 (1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先思考的目標(biāo)。通常將其組織在夾層的上方，其下組織電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時(shí)，能夠在上面設(shè)置過(guò)濾器及排風(fēng)設(shè)備等。 (2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風(fēng)管道回來(lái)上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動(dòng)力設(shè)備配電等，某層凈化車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問(wèn)題于20年前由日本人提出，近年來(lái)，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù)，但對(duì)AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對(duì)下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過(guò)程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問(wèn)題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢(shì)。目前，國(guó)內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開(kāi)始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面。

手術(shù)室空調(diào)機(jī)組的要求及要求

機(jī)組停機(jī)時(shí),新風(fēng)密閉閥同時(shí)關(guān)閉,風(fēng)機(jī)如需停機(jī),時(shí)間應(yīng)可由用戶自行設(shè)定。 機(jī)組應(yīng)配置紫外線燈滅菌。 機(jī)組應(yīng)配置手動(dòng)強(qiáng)制開(kāi)機(jī)功能,確保機(jī)組在控制系統(tǒng)故障時(shí)仍可啟動(dòng)。 機(jī)組應(yīng)采用可匹配變頻器控制風(fēng)機(jī)運(yùn)行,以滿足手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)的要求。 機(jī)組應(yīng)采用可實(shí)現(xiàn)多種工況運(yùn)行模式,控制室內(nèi)溫濕度,可通過(guò)通信接實(shí)施中央監(jiān)控,或與BMS樓宇自動(dòng)化系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)。 4.人和貨物進(jìn)入車間必須經(jīng)過(guò)，風(fēng)淋室，貨淋室，傳遞窗主要傳遞小物品。 5.在凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級(jí)地方安裝垂直層流工作臺(tái)，層流罩（FFU），潔凈棚（可移式凈化工作棚），自凈器。 6.測(cè)試潔凈室潔凈度用，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

氣流模式及壓力分布菌落

氣流模式及壓力分布 菌落作為微粒會(huì)按空氣的方向和速度運(yùn)動(dòng)，因此控制氣流的形式具有重要的意義，氣流的控制應(yīng)該是兩個(gè)層次的：一個(gè)是總體的，一個(gè)是局部的?？傮w控制即控制手術(shù)部?jī)?nèi)各房間，即手術(shù)室和其相鄰的房間之間的運(yùn)動(dòng)。氣流要依手術(shù)部的布置而設(shè)計(jì)，有一個(gè)重要的原則是：氣流要從潔凈的房間流向次潔凈的房間，因此氣流必須由手術(shù)室流向潔凈走道,確保污染物不會(huì),按實(shí)際經(jīng)驗(yàn),I級(jí)潔凈手術(shù)室應(yīng)保持25Pa正壓,II級(jí)潔凈手術(shù)室應(yīng)保持20Pa正壓,III級(jí)潔凈手術(shù)室應(yīng)保持15Pa正壓,IV級(jí)潔凈手術(shù)室應(yīng)保持10Pa正壓,潔凈走道應(yīng)保持5~10Pa正壓,當(dāng)手術(shù)室需要負(fù)壓時(shí)應(yīng)單獨(dú)設(shè)計(jì),建議安裝壓差傳感器以控制手術(shù)室內(nèi)的壓差,手術(shù)室的地板,墻身,天花板門都必須密封,特殊手術(shù)室也可按正負(fù)壓轉(zhuǎn)換設(shè)計(jì),當(dāng)發(fā)生事故時(shí),可馬上將手術(shù)室由正壓轉(zhuǎn)為負(fù)壓,避免污染室外環(huán)境。