無(wú)塵車間--對(duì)鋪設(shè)場(chǎng)地的要求：

　　1、地板的鋪設(shè)應(yīng)在室內(nèi)土建及裝修施工完畢后進(jìn)行；

　　2、地面應(yīng)平整、干燥、無(wú)雜物、無(wú)灰塵；

　　3、地板下可使用空間，布置敷設(shè)電纜、電路、水路、空氣等管道及空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在安裝地板前施工完畢；

　　4、大型重設(shè)備基座固定應(yīng)完工，設(shè)備安裝在基座上，基座高度應(yīng)同地板上表面完成高度一致；

　　5、施工現(xiàn)場(chǎng)備有220V/50HZ電源及水源。

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無(wú)塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。風(fēng)淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備，它能去除人和物表面的塵埃，同時(shí)又對(duì)風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。所以無(wú)法說是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。

無(wú)塵車間的節(jié)能原則

無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計(jì)和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。