真空泵真空設(shè)備檢漏維修

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。爪式真空泵很難做防腐處理，各級(jí)隔板之間幾乎無(wú)法做表面處理，轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時(shí)損傷。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

1.2、真空檢漏的分類(lèi)

真空檢漏可以分為兩大類(lèi)。一，充壓檢漏法；二：真空檢漏法。

①充壓檢漏法：指在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì)，如果被檢件上有漏孔，示漏物質(zhì)從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測(cè)出漏孔漏出的示漏物質(zhì)的方法。主要有升壓法、聽(tīng)音法、氣泡法等。

②真空檢漏法：指將管道和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在管道的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元素空間，由敏感元件檢測(cè)出示漏物質(zhì)的方法。主要有真空計(jì)法、靜態(tài)升壓法、氦質(zhì)譜檢漏儀法。

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真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。3X103帕的條件下允許長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，被抽氣體相對(duì)濕度大于90%時(shí)，應(yīng)開(kāi)氣鎮(zhèn)閥。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

(1)工作原理與結(jié)構(gòu)

   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

   ①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

   現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

   在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。。

   在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。

   可見(jiàn)，當(dāng)B和U為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過(guò)出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái)；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2，所以被分離出來(lái)。①充壓檢漏法：指在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì)，如果被檢件上有漏孔，示漏物質(zhì)從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測(cè)出漏孔漏出的示漏物質(zhì)的方法。(me-1)2=4，即He 的質(zhì)荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

  由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個(gè)分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場(chǎng)，使離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，雖然可以通過(guò)個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來(lái)。主要原因是由于：該型號(hào)的檢漏儀分為檢測(cè)大漏、中漏和微漏，當(dāng)檢漏口14的壓強(qiáng)100帕<。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

   逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類(lèi)有關(guān)的原理制成的。例如，多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102；對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時(shí)，通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。真空泵深圳銳誠(chéng)——專(zhuān)業(yè)做真空設(shè)備檢漏維修，我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

?背壓法——測(cè)總漏率?

電子元器件進(jìn)行.qi密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用專(zhuān)用加壓容器向被檢件壓入氦氣（由壓力和時(shí)間控制壓入的量），然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專(zhuān)用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對(duì)檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過(guò)該漏孔壓人的氦氣又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐，終到達(dá)質(zhì)譜管。⑼當(dāng)真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí)，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過(guò)濾器。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率。