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發(fā)布時(shí)間:2020-11-17 06:08  
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X射線測(cè)厚儀結(jié)構(gòu)
一六 熒光測(cè)厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體
元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U) 厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物
一次可同時(shí)分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um
(一)、外部結(jié)構(gòu)原理圖
X熒光做鍍層分析時(shí),根據(jù)射線是至上而下照射樣品,還是至下而上照射樣品的方式,將X熒光分析儀的外部整體結(jié)構(gòu)分為:上照射和下照射兩種結(jié)構(gòu)。
(二)、各種外部結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)
1、上照射方式
用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式的設(shè)備稱為上照射儀器。此類設(shè)備的Z軸為可移動(dòng)方式,用于確定射線照射光斑的焦點(diǎn),確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
①、Z軸的移動(dòng)方式
根據(jù)Z軸的移動(dòng)方式,分為自動(dòng)和手動(dòng)兩類;
自動(dòng)型的設(shè)備完全由程序與自動(dòng)控制裝置實(shí)現(xiàn),其光斑對(duì)焦的重現(xiàn)性與準(zhǔn)確度都很高,而且使用非常簡(jiǎn)便(一般是與圖像采集系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相結(jié)合的方式),一般只需要用鼠標(biāo)在圖像上點(diǎn)擊一下即可定位。當(dāng)特征X射線光子進(jìn)入硅滲鋰探測(cè)器后便將硅原子電離,產(chǎn)生若干電子-空穴對(duì),其數(shù)量與光子的能量成正比。此類設(shè)備對(duì)于測(cè)試形狀各異的樣品非常方便,也是目前主流的分析設(shè)備類型。
手動(dòng)型設(shè)備,一般需要用人觀察圖像的方式,根據(jù)參考斑點(diǎn)的位置,手動(dòng)上下調(diào)節(jié)Z軸方向,以達(dá)到準(zhǔn)確對(duì)焦的目的。因此,往往在測(cè)試對(duì)象幾何結(jié)構(gòu)基本上沒(méi)有變化的情況下使用比較快捷。
②、X、Y軸水平移動(dòng)方式
水平移動(dòng)方式一般分為:無(wú)X、Y軸移動(dòng)裝置;手動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置;電動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置;全程控自動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置。
這幾類的設(shè)備都是根據(jù)客戶實(shí)際需要而設(shè)計(jì)的,例如:使用無(wú)X、Y軸移動(dòng)裝置的也很多,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,樣品水平移動(dòng)完全靠手動(dòng)移動(dòng),這種設(shè)備適合于樣品面積較大,定位比較容易的測(cè)試對(duì)象。







X-RAY測(cè)厚儀特點(diǎn)
1,價(jià)格高,機(jī)種不同,價(jià)格在10萬(wàn)~100萬(wàn)左右,可測(cè)試P(磷)~U(鈾),并且支持Rohs及元素分析功能等。
2,無(wú)損檢測(cè),Windows操作系統(tǒng),使用簡(jiǎn)便。操作快速,能適應(yīng)多類鍍層,大量檢測(cè),但體積較大,計(jì)算機(jī)除外約100000cm2,50000g左右。
3,測(cè)量厚度范圍較廣,
0.002um~100um左右,能測(cè)試5層以上膜厚,并且可以測(cè)量合金鍍層,也可分析鍍層元素和含量比。
4,測(cè)量精度高,1%左右,分辨率高,0.001um左右。
5,測(cè)頭的面積較小,對(duì)需測(cè)的樣品要求不高:0.1mmψ以下也可測(cè)量,基材厚度無(wú)要求。
6,可編程XYZ測(cè)量臺(tái)及大移動(dòng)范圍。

江蘇一六儀器 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀
儀器簡(jiǎn)介
XTU系列測(cè)厚儀雖然結(jié)構(gòu)緊湊,但是都有大容量的開(kāi)槽設(shè)計(jì)樣品腔,即使超過(guò)樣品腔尺寸的工件也可以測(cè)試。
搭配微聚焦射線管和先進(jìn)的光路設(shè)計(jì),以及變焦算法裝置,可測(cè)試極微小和異形樣品。
檢測(cè)78種元素鍍層·0.005um檢出限·測(cè)量面積可達(dá)0.002mm2·深凹槽可達(dá)90mm。
外置的高精密微型滑軌,可以快速控制樣品移動(dòng),移動(dòng)精度0.005mm,速度10-30mm(X-Y)/圈,再小再多的樣品測(cè)試都沒(méi)有難度,讓操作人員輕松自如。
應(yīng)用領(lǐng)域
線路板、引線框架及電子元器件接插件檢測(cè)
鍍純金、K金、鉑、銀等各種飾品的膜層成分和厚度分析
手表、精密儀表制造行業(yè)
釹鐵硼磁鐵上的Ni/Cu/Ni/FeNdB
汽車、五金、電子產(chǎn)品等緊固件的表面處理檢測(cè)
衛(wèi)浴產(chǎn)品、裝飾把手上的Cr/Ni/Cu/CuZn(ABS)
電鍍液的金屬陽(yáng)離子檢測(cè)
