潽拓——{精}，分子泵

廣州潽拓，EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢(shì)

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

       受zhuanli保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

          超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長(zhǎng)了泵的 使用壽命。

        運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

廣州潽拓光電——Edwards EXT70H 24V愛(ài)德華分子泵維修 Edwards EXT70H

Edwards EXT70H 復(fù)合分子泵的電氣接口及DN 16 的抽氣接口

愛(ài)德華的Edwards EXT70H分子泵是專(zhuān)為超高真空設(shè)計(jì)的，其內(nèi)部渦輪轉(zhuǎn)子是專(zhuān)門(mén)為高真空

開(kāi)發(fā)的，層數(shù)較普通的 EXT70要多很多

該圖片就是 Edwards EXT 70H 24V Code：B722-26-991 對(duì)應(yīng)口徑ISO100

復(fù)合分子泵，是英國(guó)愛(ài)德華真空為分析儀器專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的分子泵， Edwards EXT70H 24V 復(fù)合

分子泵，是專(zhuān)為超高真空設(shè)計(jì)的

現(xiàn)貨出售愛(ài)德華 Edwards nEXT 240分子泵及提供維修保養(yǎng)服務(wù)，歡迎來(lái)電咨詢

概述——  nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對(duì)N2的抽速為240l/s。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。

       Edwards PVMK是一種快動(dòng)式直線或直角杠操作閥。杠杠與自潤(rùn)滑的塑料凸輪活塞相連，通過(guò)PTFE軸承促動(dòng)閥杠和閥板。閥板O型圈槽進(jìn)行排氣以避免氣爆。閥設(shè)計(jì)為可在10-9mbar/8*10-10 Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的壓力范圍內(nèi)運(yùn)行。

愛(ài)德華茲pv40mk真空停止閥