相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。要說凈化工程在發(fā)展的前景方面，形勢還是非常好的，市場需求更是一片大好。因為我們國家的制藥、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展，所以對凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的方面的改革條文GMP-2010發(fā)布之后，既推動了生物和食品化工行業(yè)的發(fā)展，也間接的推動了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關方面的政策支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機遇推到了。

1級：主要應用于電子工業(yè)，這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境，集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術領域的突飛猛進，對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內的例子直徑僅有1微米，也會使產(chǎn)品壽命受到影響。壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的等級劃分比較的嚴格，一般按照7個等級進行的劃分，分別是1級，10級，100級，1000級，10000級，100000，1000000級，凈化安全要求是根據(jù)等級來實施的，凈化工程等級數(shù)越小，級別是越高的，其含塵量越少，排名是靠前的。

布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互獨立，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應。凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。