高純氣體 高純氬氣

純度(V/V)：99.999%

執(zhí)行標準 ：國標

簡要介紹 ：

氬氣(Ar)是一種惰性氣體,  它在地球大氣層中占了0.93%的比例。

氬無色、無嗅、無味、無l毒?，F(xiàn)在還未知有任何化合物。比重為1.38，  比空氣重25%。在大氣壓力下，在華氏302度（攝氏186度）時，變?yōu)橐后w。氬具有無腐蝕性，不燃燒，低導熱性、以及微溶于水的特點。

惰性氣體包括氬、氦、氪、氙，有時也包括氡。它們非常穩(wěn)定，發(fā)生反應的機率很低。

本底值影響l大的是分析高純氣中氮和氧（空氣中的主要成分）。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響，其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。實際上，由于氧化鎂用途較廣，供貨商都是根據(jù)用戶要求進行生產(chǎn)，包括要求的雜質(zhì)含量、特定物理指標等。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會漏入空氣。我們只能控制一定漏量，使之不影響分析。也就說“漏氣”是絕l對的，“不漏”只是相對的。例如使用高純氬氣分析儀時，為保證分析純氣純度必須優(yōu)于6個“9”。我們將載氣凈化到7個“9”以上，留出一定“空間”，使“漏氣”后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機材料作密封（因為空氣中氮、氧能穿透有機材料滲透進入系統(tǒng)中），包括各種橡膠，聚四氟乙烯等[27]；另外，還要盡量少用卡套。

高純度氣體的管道輸送，將高純氣體送至用氣點，并保持質(zhì)量合格的關鍵是供氣系統(tǒng)設計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。助燃氣體，具有助燃能力，但自身不燃燒，存在擴大火災的危險性，如氧氣等。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應質(zhì)量的管材。比如半導體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復雜、加工精細，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求，從微米技術進入亞微米、深亞微米（小于O.35g.m）技術，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴格，10 （ppm級）已經(jīng)不能達到要求，需要達到10 （ppb級），甚至10一~2（ppt級），塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體的要求成為必須。