高大上的電子氣體——特種氣體

我國特種氣體市場起步較晚，所以在技術(shù)領(lǐng)域較國外巨頭企業(yè)有一定的差距，也正是因為如此特種氣體市場長期被外企所壟斷。但近年來國內(nèi)電子氣體奮起直追，表現(xiàn)格外搶眼。

伴隨著國民經(jīng)濟的發(fā)展，特別是21世紀(jì)后我國電子行業(yè)的突飛猛進，國內(nèi)特種氣體公司意識到了專有技術(shù)的重要性。我國在特種氣體生產(chǎn)、儲存等領(lǐng)域上取得了重要突破，特別是電子特氣目前基本實現(xiàn)了國產(chǎn)化，基本打破了國外企業(yè)的壟斷。

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。

特種氣體在LED中的應(yīng)用

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并且從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類，主要包括：

1. 硅族氣體：含硅基的類，如、二氯二氫硅、乙等。

2. 摻雜氣體：含硼、磷、等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

5. 金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢、基等。

另外還有工業(yè)氣體正在崛起的產(chǎn)業(yè)包括：煤礦滅火、石油開采、玻璃熔化爐、水泥生產(chǎn)窯、耐火材料生產(chǎn)、食品速凍、食品氣袋包裝、保鮮、光學(xué)、工業(yè)中的燃料、超導(dǎo)材料、電子半導(dǎo)體、光纖生產(chǎn)、農(nóng)業(yè)、畜牧業(yè)、魚業(yè)、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒等環(huán)保產(chǎn)業(yè)，另外還有建筑、氣象、文化、保護、體育運動、破案、保健等都有應(yīng)用，可以說是滲透到了各行各業(yè)當(dāng)中。

2010-2017年石油加工及煉焦業(yè)城鎮(zhèn)固定資產(chǎn)投資總額變化情況（單位：億元，%）

2 冶金工業(yè)總體保持增長 特種氣體需求進一步擴大

2011-2016年，常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)?？傮w呈增長趨勢，根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測分析報告》初步估算，2017年超過22000億元，對特種氣體的需求進一步擴大。

2011-2017年常用有色金屬冶煉行業(yè)市場規(guī)模變化（單位：億元，%）