什么是無塵車間，無塵車間指的是在一定的空間范圍內(nèi)，將空氣中有害粒子（微生物、細(xì)節(jié)）等污染物控制在一定的范圍內(nèi)，使之不會(huì)對(duì)生產(chǎn)或工作造成負(fù)1面影響，并將空間內(nèi)的溫濕度、壓力、靜電等條件控制也控制在某一范圍內(nèi)的車間內(nèi)建筑。03無塵生產(chǎn)車間內(nèi)的溫濕度要控制好，防止因溫濕度影響產(chǎn)品的生產(chǎn)和質(zhì)量04無塵生產(chǎn)車間必須保持一定的正壓，以保證無塵生產(chǎn)車間不受污染物的影響。

   在建設(shè)無塵車間的時(shí)候，首先需要安裝的有空氣凈化系統(tǒng)。其中包括進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、凈化空調(diào)、過濾器等。其中的進(jìn)風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)和回風(fēng)系統(tǒng)相差不大，都是以空氣的流通和過濾來達(dá)到控制車間內(nèi)微塵粒子數(shù)量的目的。

01

車間內(nèi)氣流一定要均勻地來回送風(fēng)排風(fēng)

02

必須注意氣流的輸送量和風(fēng)速。充分通風(fēng)可以消除無塵生產(chǎn)車間的空氣污染。

03

無塵生產(chǎn)車間內(nèi)的溫濕度要控制好，防止因溫濕度影響產(chǎn)品的生產(chǎn)和質(zhì)量

04

無塵生產(chǎn)車間必須保持一定的正壓，以保證無塵生產(chǎn)車間不受污染物的影響。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為1主要的凈化設(shè)計(jì)方案。