凈化工程的等級(jí)劃分比較的嚴(yán)格，一般按照7個(gè)等級(jí)進(jìn)行的劃分，分別是1級(jí)，10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，10000級(jí)，100000，1000000級(jí)，凈化安全要求是根據(jù)等級(jí)來實(shí)施的，凈化工程等級(jí)數(shù)越小，級(jí)別是越高的，其含塵量越少，排名是靠前的。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí)，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí)，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展，對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。1級(jí)：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí)，就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí)，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。