真空泵在真空泵維修中的作用

有機復合信息存儲薄膜研究取得的成果說明真空技術在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術已經成熟，但更廣泛的應用，

特別是為發(fā)展未來信息社會的關鍵技術一納米電子器件中，真空技術的應用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來的21世紀，真空技術將隨著納米電子學進入信息社會的各個領域，發(fā)揮越來越大的作用。

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真空泵維修原理和機械泵的參數

機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時，單位時間內所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉子處于水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內的體積，轉速為n。

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真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

真空技術在信息薄膜加工中的應用

近半個世紀的歷史表明,電子學器件的發(fā)展對人類社會起了很大的推動作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學技術和生產的發(fā)展起了積極的促進作用。電子管的誕生是真空科學技術充分發(fā)展的結果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細加工高精技術的提高,其中很多加工過程都與真空技術有關。

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機和個人計算機的基礎,當今在某些發(fā)達國家,微電子和計算機工業(yè)已經超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經濟產值的前位。在電子工業(yè)和計算機工業(yè)的發(fā)展中,真空科學與技術做出了重要貢獻。

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