1、如果在管道外破損，用密封膠就可以修補；管道外表面的鋁箔層發(fā)生破損，而玻纖保溫層未發(fā)生損壞，則可選用一片合格的鋁箔片進行管道鋁箔表面的修補。

2、如果破損已達到玻纖保溫層時，則可將破損的地方切割下來，另選一塊完好的板材，根據切割下來的玻板尺寸切割好，然后在四周接口上涂上修補膠及粘膠劑，根據工藝規(guī)范進行密封，在風管正常工作時就要經常檢查以免耽誤工作。

因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學清洗工作站，清洗晶片時所產生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經過水洗中和處理，再由風機排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產生，需經有機廢氣處理設備處理后，再由風機排入大氣。

風管就位：風管就位前應檢查全部支架的水乎度和標高、檢查支架的牢固程度，風管就位可采用直接和吊具兩種方法。對風管斷面較小，又位置較低的可采用人工就位方法，只需搭設簡易腳手架即可。當風管斷面較大且管段較長時，可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。為了便于風道就位，一般多采用將風道吊在腳手架上，然后再將其抬放在風道支架上的方法。

 部件方面，設備如果和風管連接，那支吊架要重新單獨設置，并且他不能夠成為風管的吊點。 雙吊桿支架在風道就位后，應保證橫擔平直，吊桿不扭轉，雙吊桿受力均勻。風管支吊點與風口、風閥和自動控制機構之間的距離，應不小于200mm。風道安裝時，進、出風日宜在風道預制時開出洞口，如需在安裝完畢的風道上現(xiàn)開風口，其接口處應嚴密。