好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。

　　潔凈車間是一個(gè)多功能的綜合體，潔凈車間工程是一個(gè)多學(xué)科、多領(lǐng)域、綜合性的工程。由于潔凈車間工程技術(shù)難度高，工程造價(jià)大，因此，在實(shí)施潔凈工程時(shí)，一直注重潔凈車間的設(shè)計(jì)。清潔車間的設(shè)計(jì)一般應(yīng)遵循“三不一要”的原則。

　　一、不帶入：不向潔凈車間帶入任何灰塵。

　　遵循這個(gè)原則，潔凈車間設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)做好如下的工作：

　　1、過(guò)濾器正確安裝，不會(huì)出現(xiàn)灰塵泄漏的情況。

　　2、保持潔凈車間相對(duì)于室外的正壓，只能讓室內(nèi)的污染空氣出去，不能讓室外的空氣通過(guò)縫隙進(jìn)入潔凈車間。

　　3、人員進(jìn)入潔凈車間之前，必須做好清潔工作，更換潔凈服，并經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室風(fēng)淋，如此方可進(jìn)入。

　　4、材料與設(shè)備經(jīng)清潔后方可進(jìn)入潔凈車間。

潔凈室內(nèi)通常都布置有通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)，其目的是為了保障潔凈室內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度，但同時(shí)也帶來(lái)了一潛在的火災(zāi)隱患，如果對(duì)通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)防火處理不當(dāng)，就會(huì)使煙火通過(guò)通風(fēng)空調(diào)管網(wǎng)四處蔓延，造成火勢(shì)擴(kuò)大。應(yīng)該特別指出，凈化車間門扇比窗扇大而且重，密封壓緊時(shí)施力要大得多，特別平時(shí)總在不斷啟閉旋轉(zhuǎn)，故還須從控制凈化車間門扇下垂和保證凈化車間門扇剛度等方面來(lái)著重考慮五金選用問(wèn)題。因此，我們?cè)谠O(shè)計(jì)時(shí)要按規(guī)范要求在通風(fēng)空調(diào)管網(wǎng)的適當(dāng)部位合理設(shè)置防火閥，并按要求選好管網(wǎng)材料，做好管網(wǎng)穿墻、穿樓板的防火封堵工作，防止火勢(shì)隨通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)蔓延。

同時(shí)，由于潔凈室相對(duì)密閉，不利于自然排煙。應(yīng)在廠房?jī)?nèi)設(shè)置事故排煙系統(tǒng)，在疏散走道上設(shè)置正壓送風(fēng)的機(jī)械排煙系統(tǒng)，確保煙氣能迅速排出室內(nèi)，不至于進(jìn)入到疏散走道，從而保證人員能及時(shí)安全地撤離起火地點(diǎn)。凈化車間門窗縫隙的處理一般來(lái)說(shuō)，凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。在潔凈室裝修中，我們必須注意裝修材料的燃燒性能，盡量減少使用一些高分子合成材料，以避免火災(zāi)發(fā)生時(shí)產(chǎn)生大量煙氣，不利于人員逃生。另外，要對(duì)電氣線路的穿管做嚴(yán)格要求，在有條件的地方要盡量使用鋼管，保證電氣線路不成為火災(zāi)蔓延的途徑。