EDWARD E2M80 愛德華真空泵維修

  惠州市明勝真空設(shè)備有限公司www.hzmszk.com真空泵維修服務(wù)：公司擁有一支強(qiáng)大、專業(yè)維修進(jìn)口真空泵技術(shù)隊(duì)伍，特別精通于普旭(博世)BUSCH，萊寶Leybold，偉力Rietschle（里其樂），Becker貝克，EDWARD愛德華，ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口真空泵的維修與保養(yǎng)服務(wù)，歡迎廣大業(yè)界人士來電來函，我們將竭誠為您提供免費(fèi)的技術(shù)指導(dǎo)與全套滿意的維修服務(wù)支持。主要從事真空行業(yè)，銷售真空泵過濾器，真空泵葉片/滑片/石墨碳片，維修包/密封套件，真空泵維修耗材。

原裝進(jìn)口愛德華真空泵油新品，全國包郵Edwards愛德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長換油的時(shí)間間隔。品質(zhì)保證，歡迎購

買。

愛德華真空泵油 / ultragrade70    包裝規(guī)格：1L, 4L，16L

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真空泵油注意事項(xiàng)：

1、真空泵油在密封條件下保質(zhì)期可以達(dá)到3-5年

2、新泵浦初次使用500小時(shí)后更換泵油，以后每工作1000-1500小時(shí)更換一次。(注：使用環(huán)境比較惡

劣要經(jīng)常觀察泵油顏色）

3、檢查油位鏡，當(dāng)泵油變成黃褐色轉(zhuǎn)入黑色或變成乳白色，需要更換真空泵油。

4、合理地選用真空泵油, 將會(huì)對(duì)泵的極限分壓力、極限全壓力、起動(dòng)、功率消耗、泵溫、泵性能的穩(wěn)

定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

5、供應(yīng)進(jìn)口真空泵油，進(jìn)口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養(yǎng)，真空系統(tǒng)定

做與設(shè)計(jì)。

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。必須為PFPE準(zhǔn)備的泵E2M40FX、E2M80FX和E2M175FX單獨(dú)采購Fomblin?。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長?，F(xiàn)場服務(wù)與真空泵維護(hù)您需要持續(xù)改善設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間并降低現(xiàn)場管理成本。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們會(huì)根據(jù)需要分配吹掃、水、電和控制信號(hào)并打造隨時(shí)可投入使用的系統(tǒng)。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

使用真空泵機(jī)組時(shí)需要注意什么?

1、在蒸餾系統(tǒng)和真空泵機(jī)組之間，必須裝有吸收裝置。

2、蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中溶劑的蒸氣。

3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。

4、真空泵機(jī)組腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。

5、減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。