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發(fā)布時間:2021-07-07 02:48  
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潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"凈化工程在設(shè)計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。在實際施工中,凈化項目通常分為專業(yè),分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是,易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作,應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。
排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計時,要根據(jù)實際情況選擇。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對凈化車間的依賴度也越來越高。

1級:塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。凈化工程在設(shè)計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。

對不同潔凈度等級的潔凈室,產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應(yīng)單獨設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計時,要根據(jù)實際情況選擇。
