擴散硅壓阻傳感器的發(fā)展與現(xiàn)狀  

固態(tài)壓阻傳感器自 1967年美國的庫利特半導體公司首先為波音公司研制 , 成功用于風洞測試 , 1970年法國斯魯母貝格公司生產(chǎn)并用于協(xié)和式大型客機和阿波羅飛船中 , 國外將其首先用于航空和宇航等軍事工業(yè)中 , 由于其自身的優(yōu)點十分引人注目 , 因此 , 近年來 , 美、 日、 德、 法、 英等許多儀器儀表制造廠紛紛研制生產(chǎn)。我國從七十年代初開始研究并取得了較好的成果 , 壓阻傳感器本身已經(jīng)歷了從結(jié)構型到物性型至今天的智能型三個發(fā)展階段。  隨著科學技術 , 特別是微電子和計算機技術的發(fā)展 , 壓阻傳感器的靈敏度、 精度和可靠性及信息傳輸功能大大提高 , 從而擴大了人們對各種現(xiàn)象和過程的觀測范圍和控制范圍。  由于擴散硅壓阻傳感器具有廣泛的應用前景 , 因而壓阻傳感器的競爭也十分激烈。 元器件的品種增多 , 溫壓范圍已經(jīng)拓展: 已有微壓、 表壓、 高壓、 絕壓、 差壓等力敏元件及其配套儀表問世。每年世界性固態(tài)壓力傳感器專利有幾十項。 潛在功能比較大 , 既可以代替人類五官感覺的功能 , 也能檢測人類不能感覺的信息。

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擴散硅壓力傳感器主要應用

擴散硅壓力傳感器主要應用于供熱，制冷，化工，煤炭，石油，食品加工，供水等行業(yè)，可以這么說，凡是自動化要求比較高的的行業(yè)，等可能會用到擴散硅壓力傳感器。由于擴散硅傳感器本身的特性，它不能用于高溫和低溫介質(zhì)的測量。據(jù)傳感器專家網(wǎng)了解，擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。