一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌

3、檢查外罩

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管

5、檢查氣體過濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)

6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)

7、檢查和清洗氣浮軸承

8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開關(guān)

9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)

10、檢查和調(diào)整測(cè)量機(jī)水平

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行

12、建議用激光干涉儀檢測(cè)和補(bǔ)償測(cè)量機(jī)各軸誤差

三坐標(biāo)控制系統(tǒng)的參數(shù)調(diào)整

伺服系統(tǒng)的基本要求

2：精度與系統(tǒng)誤差

精度是指輸出量復(fù)現(xiàn)指令信號(hào)的準(zhǔn)確程度。伺服系統(tǒng)工作過程中通常存在三種誤差：動(dòng)態(tài)誤差、穩(wěn)態(tài)誤差、靜態(tài)誤差。

a）動(dòng)態(tài)誤差：穩(wěn)定的伺服系統(tǒng)對(duì)變化的輸入信號(hào)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)過程是一個(gè)振蕩衰減過程，在動(dòng)態(tài)響應(yīng)過程中輸出量與輸入量之間的偏差為動(dòng)態(tài)誤差。

b）穩(wěn)態(tài)誤差：動(dòng)態(tài)響應(yīng)結(jié)束后，即振蕩完全衰減之后，輸出量與輸入量之間的偏差為穩(wěn)態(tài)誤差。

c）靜態(tài)誤差：系統(tǒng)組成元件本身的誤差及干擾信號(hào)所引起的系統(tǒng)輸入量之間的偏差。元件本身的誤差與下列因素有關(guān)：傳感器的靈敏度、伺服放大器的零點(diǎn)漂移和死區(qū)誤差、機(jī)械裝置中的反向間隙和傳動(dòng)誤差，各元器件的非線性因素等。

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的基本原理

通過探測(cè)傳感器（探頭）與測(cè)量空間軸線運(yùn)動(dòng)的配合，對(duì)被測(cè)幾何元素進(jìn)行離散的空間點(diǎn)位置的獲取，再通過一定的數(shù)學(xué)計(jì)算，完成對(duì)所測(cè)點(diǎn)（點(diǎn)群）的分析擬合，還原出被測(cè)的幾何元素，并在此基礎(chǔ)上計(jì)算其與理論值（名義值）之間的偏差，從而完成對(duì)被測(cè)件的檢驗(yàn)工作。測(cè)量?jī)x還配有溫度傳感器，使控制系統(tǒng)能夠檢測(cè)并動(dòng)態(tài)補(bǔ)償溫度梯度引起的測(cè)量系統(tǒng)變形。

三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x觸發(fā)使測(cè)頭分為機(jī)械接觸式測(cè)頭與電氣接觸式測(cè)頭。

2、電氣接觸式測(cè)頭

三次元測(cè)量?jī)x電氣接觸式測(cè)頭又稱為“軟測(cè)頭”，適于動(dòng)態(tài)測(cè)量。這種測(cè)頭作為測(cè)量傳感器，是與工件接觸的部件，每測(cè)量一個(gè)點(diǎn)時(shí)，測(cè)頭傳感部分總有一個(gè)“接觸—偏轉(zhuǎn)—發(fā)訊—回復(fù)”的過程，測(cè)頭的測(cè)端與被測(cè)件接觸后可作偏移，傳感器輸出模擬位移量的信號(hào)。這種測(cè)頭不但可用于瞄準(zhǔn)，還可用于測(cè)微。因此按其功能，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x電氣接觸式測(cè)頭又可分為作瞄準(zhǔn)用的開關(guān)測(cè)頭和具有測(cè)微功能的三向測(cè)頭。