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發(fā)布時(shí)間:2020-12-17 08:47  
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
水環(huán)真空泵的排出側(cè)必需裝設(shè)閥門(球閥或截止閥等)和逆止閥。閥門用來調(diào)理泵的工況點(diǎn),逆止閥在液體倒流時(shí)可避免泵反轉(zhuǎn),并使泵防止水錘的打擊。
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在水環(huán)真空泵時(shí),氦透過玻璃的滲透可達(dá)10-13升/秒。氫在300~400℃時(shí)可透過鐵,450℃時(shí)可滲過鎳,600℃時(shí)可滲透過玻璃,約640℃時(shí)還可透過銅。擴(kuò)散系數(shù)。通過單位面積的質(zhì)量流率的同該單位面積的法向濃度梯度之比。擴(kuò)散己廣泛應(yīng)用于擴(kuò)散泵和表面物理等實(shí)用技術(shù)中。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會(huì)引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍?! ?/span>
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真空泵所吸的氣體溫度較高,用自來水做循環(huán)水,或用冷凝器給氣體降溫.注意:真空泵必須安裝過載保護(hù)器,防止過載燒毀電機(jī).連接管路不能變細(xì)70%.管路過細(xì),排水不暢也會(huì)造成電機(jī)發(fā)熱超電流。
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