什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（縮寫(xiě)為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫(xiě)為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。②在進(jìn)口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器

選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問(wèn)題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請(qǐng)向廠家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問(wèn)題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大，則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。

注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)

不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。

質(zhì)量流量控制器（MFC）除工作壓力之外，還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時(shí)要注意，使用時(shí)也要注意。

 注意選擇合適的精度指標(biāo)

準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項(xiàng)指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場(chǎng)合尤為重要。指標(biāo)不一定追求高，應(yīng)考慮自己的實(shí)際需要。

如果對(duì)廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見(jiàn)下面的有關(guān)內(nèi)容。