螺桿真空泵是一種干式運行，無接觸，螺桿型真空泵它的優(yōu)點：

(1)?經(jīng)過高精度動平衡，可高速運轉，工作平穩(wěn)，整機體積小。

(2)?與多級爪泵相比，結構簡單、緊湊，零部件少，操作簡便，維護方便。?

(3)?與油封式機械真空泵相比，可凝性物質不會在泵內(nèi)滯留，無油汽和油霧排放，環(huán)保。

(4)?與水環(huán)泵相比，僅需要可循環(huán)應用的冷卻水，被抽氣體不與水接觸，物料容易回收，而且省掉污水處理環(huán)節(jié)，更加環(huán)保，而且避免了水溫對真空的影響

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設備的生產(chǎn)效率，保證設備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶，如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油節(jié)能真空泵產(chǎn)品特點

1、結構緊湊合理、體積小、真空度高、噪音低。

2、該泵配合過濾瓶、多聯(lián)過濾器及固相萃取裝置使用，都會達到理想的抽氣效果。

3、適用于抽吸各種液體和給容器減壓抽真空，新型無油節(jié)能真空泵維修，是實驗室吸液和抽真空的理想負壓設備。

4、根據(jù)操作者的需要，可以與溶劑過濾器，固相萃取裝置等設備相匹配使用。

目前市場需求開發(fā)的多用途真空系統(tǒng)，具有，環(huán)保節(jié)能，噪聲低的顯著特點，是電子、醫(yī)院、印刷、半導體、汽車、太陽能、食品、吸塑包裝等行業(yè)理想的真空獲得設備。一體式真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有可擴充，，易于維護，噪聲低，占地面積小等顯著特點。由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，新型無油節(jié)能真空泵報價，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。