對(duì)于10000級(jí)和100000級(jí)潔凈廠房。預(yù)過濾可選用F8過濾器，這樣末端高i效過濾器的使用壽命一般可達(dá)五年。在國外項(xiàng)目中和國內(nèi)新項(xiàng)目中，F(xiàn)8過濾器是非均勻流潔凈室常見的預(yù)過濾器。對(duì)于芯片廠100級(jí)，初效板式過濾器，10級(jí)或更高的級(jí)別的潔凈廠房，預(yù)過濾器的常見的效率級(jí)別為H10，許多新項(xiàng)目索性選用HEPA。在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，過濾器常見配置為：粗效中效高i效。那時(shí)高i效過濾器的使用壽命僅為1--3年，差的也就幾個(gè)月。可見，預(yù)過濾器的效率的高低決定末端過濾器使用的壽命。

空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。在1次世界i大戰(zhàn)期間，由于各種化學(xué)毒劑的使用，以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍i用防毒面具應(yīng)運(yùn)而生。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，初效過濾器g4，美國對(duì)玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究，寧波初效過濾器，使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代，HEPA過濾器問世；70年代，采用微細(xì)玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器，對(duì)013微米粒徑的粒子過濾效率要高達(dá)99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評(píng)價(jià)的提高及對(duì)過濾性能要求的提高，初效過濾器袋式，發(fā)現(xiàn)HEPA過濾器存在著嚴(yán)重的問題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA過濾器。各國仍在努力研究，估計(jì)不久就會(huì)出現(xiàn)更先進(jìn)的空氣過濾器。

過濾器的工作原理

過濾器由殼體、多元濾芯、反沖洗機(jī)構(gòu)、和差壓控制器等部分組成。殼體內(nèi)的橫隔板將其內(nèi)腔分為上、下兩腔，上腔內(nèi)配有多個(gè)過濾芯，這樣充分了過濾空間，顯著縮小了過濾器的體積，下腔內(nèi)安裝有反沖 洗吸盤。工作時(shí)，濁液經(jīng)入口進(jìn)入過濾器下腔，又經(jīng)隔板孔進(jìn)入濾芯的內(nèi)腔。大于過濾芯縫隙的雜質(zhì)被截留，凈液穿過縫隙到達(dá)上腔， 然后從出口送出。

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