真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機(jī)，輔壓縮機(jī)，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動(dòng)控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì)，同時(shí)，實(shí)施對整個(gè)系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度，此時(shí)，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進(jìn)行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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真空檢漏技術(shù)

真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。耐壓要求：對產(chǎn)品加壓到實(shí)驗(yàn)壓力，保壓一段時(shí)間，降到常壓，經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。

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真空箱氦檢漏

真空箱氦檢漏，根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。

基本技術(shù)參數(shù)編輯真空箱數(shù)量： 根據(jù)實(shí)際需要真空箱容積： 根據(jù)實(shí)際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實(shí)際需要耐壓試驗(yàn)壓力：根據(jù)實(shí)際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實(shí)際需要氦氣回收率： ≧98%‘’

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系統(tǒng)嚴(yán)格按照客戶的要求設(shè)計(jì)制造，采用模塊化的設(shè)計(jì)，充分考慮客戶的檢漏要求，同時(shí)也盡可能采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。真空箱式氦檢漏設(shè)備適用對空腔電力工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏SF6充注，首先對工件充注一定壓強(qiáng)的干燥壓縮空氣或氮?dú)猓号写舐?。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測；真空箱式氦檢漏系統(tǒng)以下是科創(chuàng)真空為您一起分享的內(nèi)容，銳誠真空公司專業(yè)生產(chǎn)銷售氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6。全電腦控制，全自動(dòng)檢測，排除操作者人為因素導(dǎo)致的誤判。自動(dòng)判斷，聲光提示。

本設(shè)備嚴(yán)格按照“用戶技術(shù)要求”設(shè)計(jì)制造。

本設(shè)備適用對空腔電力工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏、SF6及氮?dú)獬渥?，首先對工件進(jìn)行真空內(nèi)外壓強(qiáng)抽空，真空法判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性微檢漏檢測；離泄漏點(diǎn)越遠(yuǎn)，射束就散開得越大，但即便距離泄漏點(diǎn)相當(dāng)遠(yuǎn)的距離，射束可能依然非常細(xì)窄。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6及氮?dú)夤ぷ鳉怏w。通過本裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格產(chǎn)品。

主要技術(shù)參數(shù)及要求：

1、 真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00 mm

充氦氣壓力：0.05Mpa（可調(diào)）

2、 工作節(jié)拍：＜40分鐘/件

3、 箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個(gè)工件接口。小件2個(gè)工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(報(bào)警漏率設(shè)置1×10-7Pam3/S時(shí)，應(yīng)可檢出)

6、 保壓檢測時(shí)間：（1-600S可調(diào)）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20 Pa

9、系統(tǒng)自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱門開關(guān)方式：自動(dòng)

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認(rèn)。