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發(fā)布時(shí)間:2021-04-23 11:59  
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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光刻版在使用過(guò)程中不可避免的會(huì)粘上灰塵、光刻膠等污染物,這些污染物的存在直接影響到光刻的效果。為了保證光刻版潔凈,必須定期對(duì)光刻版進(jìn)行清洗,而清洗的效果與清洗工藝以及各清洗工藝在設(shè)備上的合理配置有著密切的聯(lián)系。
使用鉻刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區(qū)域,而受光刻膠保護(hù)的鉻層不會(huì)被刻蝕,形成不透光區(qū)域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結(jié)構(gòu)。
在有必要的情況下,使用濕法或干法方式去除掩膜版上的光刻膠層,并對(duì)掩膜版進(jìn)行清洗。
烤版時(shí)還要注意:①烤版箱內(nèi)的紅外燈管一定要橫向排列,如縱向排列,往往導(dǎo)致印版瓦楞狀變形而影響使用。②烤版膠濃度要合適,如烤版膠太稠,烤版效果和上墨效果也不會(huì)令人滿意;如烤版膠太稀,烤出的版容易上臟。通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。③烤版溫度不能過(guò)高,溫度過(guò)高也會(huì)導(dǎo)致鋁版基韌化和發(fā)軟,樹脂層焦化,影響耐印力。烤版時(shí)間太長(zhǎng)易導(dǎo)致印版上臟,烤版時(shí)間太短達(dá)不到烤版的效果??瓷先ブ瓢婀に嚥皇翘珡?fù)雜,但要想制作出合格的印版,確實(shí)需要操作人員用心曬版,用心加工印版。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過(guò)率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版